
设备特性:
1.UCD制EBA系列间隙式真空镀膜设备是全部采用株式会社ULVAC成熟先进的技术,并基于ULVAC的安全设计标准,对其进行改进设计后进行生产制造的优良设备。
2.设备具有国际品质和国产价格的特性;
3.设备制造质量超过其他任何国内制造厂家,接近全进口设备的质量;
4.设备采用立式结构设计,占地空间小,操作方便,净化隔离容易;
5.设备采用左、右门双工位工作方式,生产节拍快,单次生产周期(含等离子清洗和二次保护膜聚合)约15分钟;
6.设备采用人机操作界面(触摸显示屏),一键即可全自动完成:粗真空排气→等离子清洗(可选)→高真空排气→Al膜蒸镀(可选充Ar)→SiOx保护膜聚合(可选)→放气全部功能, 保证产品质量不受人为因素影响;
7.所有工艺参数设置简单,具有可选择性;
8.设备配置优质环保品牌的部品,并通过ISO9001质量体系和ISO14000环保体系认证,同时已开始执行有害物质全废(ROHS)指令.