1952年 8月 投资600万日元创立日本真空技术株式会社
1963年 8月 公司注册商标为<ULVAC>
1964年 7月 合资成立香港真空有限公司
1983年 2月 设立北京事务所
1987年 4月 委托中科院上海冶金所设立上海服务中心
1989年 8月 设立上海事务所
1995年 5月 设立广州事务所
1995年 9月 合资成立宁波爱发科真空技术有限公司
2000年10月 成立爱发科真空技术(上海)有限公司
2001年 5月 宁波爱发科真空技术有限公司迁往新工厂
2001年 7月 公司名称正式更名为株式会社ULVAC(英文名:ULVAC,Inc.)
2003年 7月 成立爱发科真空技术(苏州)有限公司
2003年10月 成立成都东方爱发科真空技术有限公司
2004年 4月 株式会社ULVAC在日本东京证券交易所上市
2004年 8月 合资成立爱发科启电科技(上海)有限公司(现名:爱发科自动化科技(上海)有限公司)
2005年 1月 合资成立爱发科天马电机(靖江)有限公司
2005年 1月 成立爱发科中北真空(沈阳)有限公司
2005年 1月 成都东方爱发科真空技术有限公司更名为爱发科东方真空(成都)有限公司
2005年 7月 成立宁波爱发科低温泵有限公司
2006年 3月 成立爱发科(中国)投资有限公司
2006年 7月 成立爱发科商贸(上海)有限公司
2006年11月 成立宁波爱发科精密铸件有限公司和洛阳鑫友镁业有限公司